三菱マテリアル、有機ELディスプレイ用銀合金スパッタリングターゲットの新製品開発

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有機ELディスプレイ用銀合金ターゲット(1800×2300mm)

三菱マテリアルは2017年6月19日、有機ELディスプレイ用銀合金スパッタリングターゲットの新製品「DIASILVER 201-100」を開発し、量産開始したと発表した。

スパッタリングターゲットとは、対象となる電子基板に原子レベルで合金や金属酸化物などを付着させて薄い膜を形成させるための電子材料だ。銀の高反射率、低電気抵抗という特性を生かして、銀合金スパッタリングターゲットは反射膜や電極膜、配線膜や半透明膜を形成する目的で使用される。

同社の有機ELディスプレイ向け銀合金スパッタリングターゲットは、形成された薄膜電極が持つ高い可視光反射率と耐食性、低電気抵抗性などにより、ディスプレイの高輝度化と長寿命化を可能にするという。

新製品は、ターゲット材を形成する結晶の平均粒径が従来の400μm以下から100μm以下と、金属組織がより微細になった。また、接合や貼り合わせなどの継ぎ目なしで大型サイズに対応している。さらに、ターゲット材料の面内、厚さ方向の結晶粒径のばらつきが20%以内と、金属組織がターゲット全体にわたって均一であるという特徴も持つ。

これらの特徴によって、大型基板に形成された薄膜の基板内における膜特性の均一性が向上し、有機ELディスプレイの画像品質が改善される。また、スパッタ中の異常放電やスプラッシュ(ターゲット材の飛散)が低減することによって有機ELディスプレイの生産歩留まりが改善されるという。

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