マクセル、有機ELディスプレイパネル蒸着用のハイブリッドマスクを開発

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マクセルは2017年10月3日、ジャパンディスプレイ(JDI)と共同で、精密電鋳加工技術(EF²)を用いた有機ELディスプレイパネル蒸着用高精度ハイブリッドマスクを開発したと発表した。

今回開発したのは、熱膨張特性にすぐれたインバー材フレームに、EF²で形成した高精細マスク部を一体化したフレーム一体型ハイブリッドマスクだ。有機ELディスプレイの高精細化が可能になり、蒸着装置への装着も容易になる。

同社のEF²によるマスク形成では開口部の高精度化が可能になり、マスク厚は8μmでリアルRGB 400ppi以上の高精細有機ELディスプレイパネルを実現できるという。また、熱膨張特性に優れるインバー材フレームに、EF²で形成した高精細のマスク部を一体化させることで熱膨張による変形を抑え、蒸着装置への装着を容易にした。

同社ではJDIと共同で有機ELパネル用ハイブリッドマスク量産化のためのクリーンルーム増設進めており、2018年秋の量産開始を予定している。また、今後リアルRGB 800ppi対応の開発を進めるという。

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