最小孔開け半径150μm、孔開け加工精度を上げるガラスウエハー製品群「FLEXINITY」をSCHOTTが開発

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特殊ガラスメーカー、独SCHOTTは2018年3月13日、集積回路の基板になるガラスウエハーや薄板ガラスに対して、精度の高い孔開け加工を可能にする技術を開発したと発表した。同技術を採用した製品群「FLEXINITY」のサンプル提供も始めている。

従来の機械加工技術では、薄いウエハーに微細な孔開け加工をすると、十分な精度を確保できず、製造過程でアライメント不良が生じて孔加工部の損傷が発生してしまっていた。

新技術を用いた同製品群では、最小の孔開け半径は150μmで公差は±25μm以下。高精度で自由なデザインの孔開け加工が可能になり、電子機器の小型化も図れるようになる。

FLEXINITYにはホウケイ酸ガラスや無アルカリガラスなどがあり、ウエハーサイズは4~12インチ(10.16~30.48㎝)、厚みは0.1~3.8mmとなる。

日本向けには2018年初めにプロトタイプの供給を開始し、2019年にはグローバル市場に向けて量産化する予定だ。

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