東大、従来の5000倍の速さでガラスの微細加工が可能なレーザー加工技術を開発

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従来のフェムト秒レーザー加工(左)と、新技術による加工(右)の比較

東京大学は2018年8月6日、従来の5000倍の速さでガラスの微細加工ができるレーザー加工技術を開発したと発表した。

電子機器や光学機器の高性能化などのために、ガラス材料の微細加工を高速かつ精密に行える技術が求められている。ガラスへの微細加工技術としてフェムト秒レーザー加工が注目されているが、加工能率が悪く加工に時間がかかること、またクラックが生成されるために精密な加工が難しい、という課題があった。

今回の研究では、フェムト秒レーザー照射後に材料内部に瞬間的に形成される高電子密度領域に、透過波長の長いパルスレーザー光を吸収させることによって、微細形状を従来の5000倍の高速で加工できる技術の開発に成功した。従来の方法のようにフェムト秒レーザーパルスを多数照射しないために、クラックも生成されず精密な加工ができる。

今回の開発により、ガラス材料の高速かつ精密な微細加工技術が実現でき、電子機器や光学機器などの製品の高性能化や低コスト化が期待できるという。また、今回開発した技術はガラス以外の非金属材料にも適用できる可能性があるため、より広範囲での活用が期待されるという。

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