- 2016-12-16
- ニュース, 電気・電子系
- エナジーハーベスタ, 東北大学, 自立型振動発電デバイス
東北大学は2016年12月15日、MEMS技術を利用して周辺の振動を電気エネルギーに変換するエナジーハーベスタ（自立型振動発電デバイス）を用いたセンサを開発したと発表した。
東北大学の研究グループは今回、AlN（窒化アルミニウム）圧電薄膜に対してMEMS技術を用い周辺の振動を電気エネルギーに変換するセンサノードを開発した。このセンサノードは、容積1cc／振動加速度1gにて約1mWと従来比10倍以上の発電出力を得られる。振動体がステンレススティール基板で構成されているので、自動車や電車などの過酷な条件下でも使用できる。
また研究グループは、このエナジーハーベスタ技術を、振動センサ、加速度センサなどに適用。振動センサとしては1Hz以下の帯域も測定可能なものを、加速度センサとしては圧電薄膜を利用したものを、他にもジャイロセンサとして表面弾性波を用いたものを試作した。
さらに、従来の1/10以下の電力でセンサ情報を送受信する超低消費電力の無線送受信装置を開発。これにより、従来は有線接続でしか実現できなかった機械振動波形データを無線接続で観測することを可能にしたという。
