ジェイテクト、発じん量を半減させたクリーン環境用ベアリングの新製品を開発

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今回開発した「NEWクリーンプロベアリング」

ジェイテクトは2017年7月3日、発じん量を従来の50%に低減するなどのクリーン環境用ベアリングの新製品「NEWクリーンプロベアリング」を開発したと発表した。同月から量産を開始する。

半導体やFPDの製造には極めて高いクリーン性が必要なため、その製造装置および使用されるベアリングには、発じんによる不純物混入や放出ガスの影響を低減することが求められる。

一般的なベアリングでは、回転する際の摩擦や潤滑油の飛散による発じん、また、潤滑油の蒸発によるガスが発生する。それらを低減するためには、潤滑油やグリースを使わずに潤滑性や耐摩耗性を高める必要があるが、同社ではベアリングにフッ素コーティングを施すことでそれらを実現してきた。

今回開発した新製品では、潤滑膜に特殊フッ素高分子膜を使用し、サブミクロンの膜厚で軸受全面にコーティングすることで、回転中に発生する発じん量を従来品と比較して50%低減させた。同時に寿命を10倍以上向上させている。

同社では、さらに低発じんで低放出ガス、長寿命のベアリングが求められる半導体メーカーやフラットパネルディスプレイ(FPD)メーカーなど中心に拡販し、2020年に年4億円の売上を目指すという。

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