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タグ：高均熱化

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  • 2021-2-25
  • 機械系, 製品ニュース
  • SumiTune, 住友電気工業, 成膜工程, 枚葉式半導体成膜装置, 高均熱化, 高精度温度分布制御システム

  枚葉式半導体成膜装置向け高精度温度分布制御システム「SumiTune」を開発――ウェハー面内温度分布を高均熱化　住友電気工業

  住友電気工業は2021年2月24日、半導体製造プロセスの前工程（シリコンウェハー上への回路形成工程）での高精度温度分布制御システム「SumiTune（スミチューン）」を2021年1月に開発したと発表した。 枚葉式半…

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