欠陥検出画像を高画質化した超音波映像装置を発売――300mmウェーハの一括検査が可能　日立パワーソリューションズ

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日立パワーソリューションズは2022年8月29日、欠陥検出画像の高画質化と300mmウェーハの一括検査を可能にした超音波映像装置「FineSAT7」を同年10月1日に発売すると発表した。

同機は、半導体や電子部品内部の微細構造、剥離やボイドなどの欠陥を超音波の反射／透過特性を利用して非破壊で検出、画像化する同社の超音波映像装置「FineSAT」シリーズの最新機種となる。

従来機のものより分解能が16倍、測定周期が2倍向上したADボードを採用したことで特徴抽出精度が向上。さらに、1画素の輝度に対して周囲8カ所から取得した超音波波形を平均化する技術を使用して、電子回路の熱雑音などによるランダムノイズを低減し、欠陥検出画像を高画質化する。

また、測定用の水槽の大型化や、超音波を送受信するプローブなどの測定可動域を拡大し、透過法による直径300mmウェーハの検査を一括で実施できるようにした。価格は2850万円（税別）からとなる。

なお、同機は、8月31日（水）〜9月2日（金）まで幕張メッセで開催されるエレクトロニクス開発・実装展「ネプコンジャパン2022 秋」に出展される。

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