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欠陥検出画像を高画質化した超音波映像装置を発売――300mmウェーハの一括検査が可能 日立パワーソリューションズ
日立パワーソリューションズは2022年8月29日、欠陥検出画像の高画質化と300mmウェーハの一括検査を可能にした超音波映像装置「FineSAT7」を同年10月1日に発売すると発表した。 同機は、半導体や電子部品内…
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