東京エレクトロンデバイスは2015年12月1日、光コム社と共同で、光コム方式の三次元形状測定器を開発することに合意したと発表した。
光コム方式とは、少しずつ波長の異なる光の波が一定の位相関係で同時に存在している「光のくし」を利用した三次元形状測定の技術。単一波長などを用いた従来の計測に比べ「非常に正確な光のものさし」であるという。
現在、光コム社が保有するこの三次元形状測定の応用技術と、東京エレクトロンデバイスの回路・基板設計などの技術を活かし、従来の方法とは異なった「光コム方式」の三次元測定器を開発中とのこと。市場投入は2016年春に予定されている。
同測定器は、精密加工部品などにおける高精度形状測定の超高速化をもたらすとのこと。その結果、自動車や航空部品などの精密加工部品や大型プレス加工などの金属部品などの開発支援、また製造現場での検査効率向上に貢献するとしている。
