【展示会レポート】マイクロフォーカスX線透視装置「Xslicer SMX-6000」/島津製作所

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島津製作所は「第33回 エレクトロテスト ジャパン」に出展し、マイクロフォーカスX線透視装置「Xslicer SMX-6000」をデモンストレーションした。Xslicer SMX-6000は、同社製のマイクロフォーカスX線発生装置と高感度フラットパネル検出器を搭載したCT機能付きX線検査装置だ。電子デバイスなどの内部にある微細な構造や欠陥を、高解像度の画像を使って観察できるようになる。

対象の内部まで透視して3次元で画像解析できるというのが同製品の特徴。X線透視では、奥行(厚さ方向)に情報が重なってしまうため、検査対象を3次元で把握することが難しく、位置を調整して再撮影しようとしても準備にかなりの時間を使ってしまっていた。そこでXslicer SMX-6000では、フラットパネル検出器を360度回転させながらX線透視画像を収集。得られた透視画像から再構成して、断面画像を作成するようにした。階層ごとに詳しい観察が可能となった上に、X線透視とCT撮影の切り替えもスムーズ。CT撮影開始から断面画像表示まで、最短3分以内で完了するという。

また、CTを撮るには、一般的にはさまざまな調整(校正・キャリブレーション)が必要だが、同製品ではモード選択などにより、初心者でも簡単にX線CT検査できるように工夫した。大型モニターとシンプルなボタンレイアウトで分かりやすく、直観的に操作できる。

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