回転体型の高精度X線ミラーの製造技術を確立――精密加工と精密転写技術を融合 東大と夏目光学

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東京大学は2019年2月27日、夏目光学と共同で、回転体型の高精度X線ミラーの製造技術を確立したと発表した。

回転体型の高精度X線ミラーはチューブ形状で、ミラー内面をX線が反射し集光する。X線は、ミラー表面にわずかな凸凹があるときれいに反射せず、ミラー内側の表面は極めて高い精度が要求される。また、工具が入らないこともあり、ミラー内側を精密に加工することは難しかった。

回転楕円ミラーによる軟 X 線集光

そこで東京大学は、反転形状を持つ型の表面に金属をめっきして分離し製品を得る電鋳法と呼ばれる手法を提案。同大学の超精密転写技術と、夏目光学の超精密ガラス加工技術を組み合わせることで、10nm程度の精度で一致した転写精度を示すミラーの作製に成功した。また、大型放射光施設SPring-8にて、作製したミラーの性能を評価。高効率で理想的な軟X線集光性能を確認した。

回転楕円ミラーを作製するために開発された電鋳法の転写精度

今回のミラー製造技術は、ミラー製造の低価格化と量産化を可能にするという。また、X線用のミラーに限らず、情報通信や半導体機器用のミラーの製造にも展開が可能だとしている。

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