ゲージ率400以上を示すフレキシブルひずみセンサーを開発 大阪大学ら

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大阪大学は2019年12月18日、ジェノバ大学/CNRと共同で、世界最大のゲージ率(ひずみの感度)400以上を示すフレキシブルひずみセンサーの開発に成功したと発表した。

現在、産業用途ではNi合金製のフレキシブルひずみセンサーが多く使われており、ゲージ率が2で一般的であまり大きくなく、信号増幅/ノイズ低減技術の進歩によって、高感度化が達成されてきた。

今回研究グループは、わずかなひずみで大きく抵抗が変化する二酸化バナジウムというセラミックス材料に注目。超高感度なフレキシブルひずみセンサーの開発を進めてきた。結晶方向でひずみの高感度化が変化することから、二酸化バナジウムの単結晶化を行い、さらに、基板からの剥離技術、フレキシブルシート上への転写の3つ全ての技術を確立した。同ひずみセンサーは信号増幅が不要なため、回路の小型化/省エネ化も可能だという。

今後は、従来では難しかったマイクロひずみの検出を実証し、脈波やわずかな筋肉の動き、建物や橋などの微小経時変化を簡便な装置で高精度に測定できると期待される。

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