製造工程最適化と環境負荷を低減する、半導体モールド用離型フィルムを開発 ハリマ化成グループ

ハリマ化成グループは2024年12月11日、半導体の製造工程の最適化と環境負荷を低減する、半導体モールド用離型フィルムを発表した。国内外顧客へのサンプルワークを進めており、早期の実績化を図る。

半導体製造の後工程であるコンプレッションモールディング(圧縮成形)では、離型フィルムを金型とモールド樹脂の間に挟み込み、金型の汚れを抑えている。新開発の半導体モールド用離型フィルムは、成形時に発生する昇華物を高いガスバリア性で遮断し、清掃頻度をさらに減らす。

柔軟性の高い樹脂設計のため、使用目的に合わせてカスタマイズできる。また、シリコン、非シリコンの用途に適用するため、多様な場面で利用できる。さらに、有機フッ素化合物(PFAS)フリー構成で環境にやさしい素材を採用している。

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