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タグ：中性粒子ビーム加工技術

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  • 2018-10-29
  • 化学・素材系, 技術ニュース
  • トップダウン加工, ドライエッチング, バイオテンプレート技術, 中性粒子ビーム加工技術, 撥水性, 材料科学高等研究所（AIMR）, 東北大学, 流体科学研究所（IFS）, 濡れ性, 無欠陥シリコンナノピラー構造, 表面コーティング技術, 長瀬産業

  東北大ら、無欠陥シリコンナノピラー構造の作製に成功――あらゆる材料表面の濡れ性を自在に制御

  東北大学、材料科学高等研究所（AIMR）、流体科学研究所（IFS）は2018年10月26日、均一で高密度な間隔制御された無欠陥シリコンナノピラー構造を作製することに成功したと発表した。この成果により、あらゆる材料表面の濡…

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