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タグ：光電子ホログラフィー法

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  • 2017-12-22
  • 技術ニュース, 電気・電子系
  • JASRI, 光電子ホログラフィー法, 半導体, 名古屋工業大学, 東京工業大学, 高輝度光科学研究センター

  東工大、JASRI、名工大ら、半導体中の添加原子と周辺の3次元配列の観察に成功――半導体プロセス開発に貢献

  東京工業大学、高輝度光科学研究センター（JASRI）、名古屋工業大学らによる共同研究グループは2017年12月21日、シリコン（Si）結晶に添加した、ヒ素（As）原子周辺の3次元原子配列構造の観察に成功したと発表した。結…

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