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タグ：半導体リソグラフィ

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  • 2017-10-5
  • ニュース, 技術ニュース, 電気・電子系
  • ギガフォトン, 九州大学, 半導体リソグラフィ

  九州大など、次世代半導体リソグラフィで使われる光源の空間構造を解明

  九州大学の富田健太郎助教、ギガフォトンなどによる研究グループは2017年10月3日、次世代の半導体露光（リソグラフィ）で使われる極端紫外（EUV）光源プラズマの温度や密度の空間構造を世界で初めて明らかにしたと発表した。 …

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