誘導結合プラズマ（ICP）エッチング技術に関するおすすめ記事 | fabcross for エンジニア

タグ：誘導結合プラズマ（ICP）エッチング技術

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  • 2019-7-4
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  • LED（発光ダイオード）, マイクロLED, マイクロLEDディスプレー, 中性粒子ビームエッチング技術, 東北大学, 産業技術総合研究所（産総研）, 発光効率, 研究, 窒化ガリウムマイクロLED, 誘導結合プラズマ（ICP）エッチング技術

  窒化ガリウムマイクロLEDの発光効率を5倍に高効率化――加工損傷が極めて少ない中性粒子ビームエッチング技術で作製　産総研と東北大

  産業技術総合研究所（産総研）と東北大学は2019年7月3日、微小な窒化ガリウムLEDの高効率化技術を開発したと発表した。 マイクロLEDはサイズが数μm～数十μmの微小なLED（発光ダイオード）で、これを高密度に配…

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