タグ:超薄型半導体ひずみセンサーチップ
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プラモデルのように組み立てる5µmの超薄型半導体ひずみセンサーチップを開発――次世代型高性能フレキシブルデバイスの機械構造設計、精密組み立て技術に貢献
東京大学と産業技術総合研究所(産総研)の共同研究グループは2019年2月14日、厚さ5µmの超薄型半導体ひずみセンサーチップを、実装機と呼ばれる精密組み立て装置を用いてプラモデルのパーツのように1つずつ切り離し、回路上に…詳細を見る
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