電子線（電子ビーム）リソグラフィー技術に関するおすすめ記事 | fabcross for エンジニア

タグ：電子線（電子ビーム）リソグラフィー技術

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  • 2020-7-13
  • 技術ニュース, 海外ニュース, 電気・電子系
  • ACS Photonics, チャルマース工科大学, パンチャラトナム・ベリー位相勾配, メタサーフェス, 学術, 電子線（電子ビーム）リソグラフィー技術

  未来の超薄型レンズは日の目を見るか――メタサーフェスを効率的に製造する新手法を開発

  スウェーデンのチャルマース工科大学は、2020年6月11日、メタサーフェスをより効率的に作り出す新しい方法を発表した。この技術では、プラスチックを用いた微細構造作製において、既存の電子線（電子ビーム）リソグラフィー技術を…

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