業界初の1台で0.1μW～25W/cm2まで測定できる超高機能紫外線積算光量計を開発　ウシオ電機

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ウシオ電機は2022年12月7日、業界初となる1台で0.1μW～25W/cm²まで測定できる超高機能紫外線積算光量計「UIT-700」の開発が、2023年3月末に完了する見込みとなったことを発表した。

現在、紫外線測定のニーズが高まっているが、環境衛生分野は0.1μW/cm²という微量の漏れ光の測定ニーズ、印刷業界は25W/cm²という高照度LEDの測定ニーズがあるなど、測定する紫外線の照度が業界によって広く、これまですべてに対応する積算光量計がなかった。そのため、それぞれに対応した積算光量計を複数台準備する必要があったことから、UIT-700を開発した。

UIT-700は、0.1μW～25W/cm²まで1台で測定できる。標準のトレーサビリティが取れた校正体系を維持しつつ、容易に測定結果の記録と管理ができる。また、CE・UKCAマーキングにも対応。海外への製造プロセス移管時の品質管理も容易にできる。

測定波長（nm）は222、254、313、365、405、LED（365～450）、測定範囲（放射照度）は0.1μW～10mW/cm²（222）、0.1μW～10W/cm²（313、405）、0.1μW～25W/cm²（254、365、LED）。外部通信は、RS232C、USB、アナログ出力（RS232C コネクタの一部から出力）に対応している。

微弱光からハイパワーまで測定できるワイドダイナミックレンジ対応。タッチパネル方式の採用により、視認性と操作性に優れている。電源は、繰り返し充電ができる二次電池を採用。新型デジタル受光器は、ケーブル接続なしで独立して測定できる。

主な用途としては、半導体／FPD市場でのUV露光／UV硬化／UV接着、印刷市場でのUV乾燥、環境衛生分野でのUV殺菌などでの光量管理に最適である。

なお、本製品は、12月14日（水）〜16日（金）まで東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2022」にて、実機展示とデモを予定している。

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