三菱マテリアル、一辺1200mmを超える世界最大級の柱状晶シリコン製造技術を確立

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三菱マテリアルは2017年1月25日、同社の電子材料事業カンパニーと三菱マテリアル電子化成が共同で、角型の一辺が1200mmを超える世界最大級の柱状晶シリコンの製造技術を確立したと発表した。

柱状晶シリコンは、一方向に結晶を成長させて凝固させた柱状の結晶構造を持つ多結晶シリコンた。高純度で加工性に優れ、プラズマエッチング装置用部材や均熱板などの半導体製造装置用部材、スパッタリングターゲット材料等に用いられている。

近年、半導体の微細配線化にともなう不純物の低減要求の高まりから、柱状晶シリコンは半導体装置のウェーハ周辺部材に加え、従来は他の素材を利用していた大型部材へも使用が広がっている。また、フラットパネルディスプレイの基板の大型化にともない、基板の熱処理工程で使われる均熱板としても大型化のニーズが高まっている。

シリコンは材質が脆く、凝固過程での膨張もあるため、大型になると割れやすい物性が現れるが、同社では今回、精密鋳造の技術を活かし、高純度化とともに内部応力の低減を実現。実用性が向上した大型柱状晶シリコンを安定的に製造する技術を確立したものだ。

用途は、プラズマエッチング装置用部材、均熱板(アニール炉用、拡散炉用)、CVD装置用サセプタ、スパッタリングターゲット材料、赤外線レンズなど。
同社では、2016年度中を目途に、この大型柱状晶シリコンをサンプル出荷する予定だ。

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