リコーインダストリアルソリューションズ、2軸駆動の新型MEMSを採用したスペックル低減モジュールを開発

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リコーインダストリアルソリューションズは2018年8月30日、プロジェクター業界向けに、独自に開発した2軸駆動のMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)を採用したスペックル低減モジュールを開発したと発表した。

高輝度/高効率/長寿命といった特徴を持つレーザーは、近年プロジェクターや車載用製品など幅広い用途への採用が進んでいる。しかし、光源のコヒーレンス性に起因したちらつき(スペックル)の発生が、展開拡大の技術課題となっていた。また、従来の技術では、スペックルを低減するシステムが大掛かりなことや、小型化した簡易的なシステムではスペックルの低減性能が不十分という課題があった。

同社は科学技術振興機構(JST)が主催する「研究成果最適展開支援プログラム(ステージIII NexTEP-Bタイプ)」の委託対象として、東北大学の研究成果をもとに一つのアクチュエーターで2軸の共振駆動が可能な新型のMEMSを開発。独自の光学素子と組み合わせることで、5×10×3mmというコンパクトなシステムと、スペックルコントラスト0.1という高レベルでのスペックル低減を両立した。

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