CO2検出用のMEMSガスセンサーを販売開始――小型で低消費電力、高精度を実現 TDK

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TDKは2021年1月8日、CO2検出用のMEMSガスセンサー「TCE-11101」を開発し、販売開始すると発表した。

同製品は、新材料開発やMEMSプロセス技術、AI(人工知能)および機械学習機能を独自に組み合わせた技術プラットフォームを用いており、小型で低消費電力、高精度を実現した。家庭用、自動車、IoT、医療向け用途のCO2を直接正確に検出可能である。

消費電力は1mW以下で、検出範囲は400~5万ppm。ダイレクトCO2検出方式を採用しており、CO2ガス濃度の正確な測定が可能なほか、従来のeCO2(CO2換算)方式では不可能だったさまざまなCO2検出アプリケーションに対応できる。

パッケージは5×5×1mmの28ピンLGAを採用した。金属製キャップと一体型の防塵フィルタを装備し、長寿命動作を実現した。小型であることからデジタル機器への組み込みが容易で、据え置き式および携帯方式の屋内エアクオリティーモニターなどの用途に適する。また、デマンドコントロール換気システム(DCV)などの用途では、空間CO2濃度の正確な計測データによりHVAC(冷暖房空調設備)システムの細やかなコントロールが可能となるため、HVACシステムの電力を最適化できる。

デジタル・インターフェース(I2C)を採用しており、バックグラウンド・キャリブレーションで長期的な安定性を確保した。また、16ビットマイクロコントローラを介してオンボードでプログラム可能となっている。動作温度範囲は0〜60℃で、寿命は5年。ベースラインの正確性は±50ppm、
測定値±3%となっている。なお、評価ボード「DK-11101」も併せて提供される。

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