12インチサファイア基板のテスト販売を開始 アダマンド並木精密宝石

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アダマンド並木精密宝石は2022年11月29日、12インチサファイア基板のテスト販売を開始したと発表した。同発表によると、12インチのサファイア基板販売は世界初だという。

同基板はエピタキシャルウェハグレードで、ヘテロ成長が可能となっている。半導体製造用の12インチキャリアウェハ(装置内搬送トレイ)や、貼り合わせ用基板としても使用することができる。

同社のサファイア基板(Prime)は、2インチから8インチまでのサイズにおいて、0.3µm以上のサイズのパーティクルを2インチあたり50個以下、主要金属(K、Ti、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn)については2E10/cm2以下としている。

12インチ基板でも、同レベルのPrimeグレードに達する見込みとなっている。また、凹面、凸面の形状制御にも対応できる。

サファイアは、主にLED照明の下地基板として用いられていたが、近年は半導体市場からのニーズも増えており、大型基板への要望が高まっていた。

このため、同社は数年前よりさらに高品質なサファイア基板の製造に着手しており、基板表面の清浄度や形状制御に関する技術改善に加えて大型基板の開発を進めていた。

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