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タグ：β-Ga2O3

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  • 2022-3-3
  • 化学・素材系, 技術ニュース
  • 6インチ枚葉式HVPE装置, HVPE法, NEDO, β-Ga2O3, エピウエハー, ノベルクリスタルテクノロジー, ハライド気相成長法, パワーデバイス, 大陽日酸, 新エネルギー・産業技術総合開発機構, 東京農工大学, 研究, 酸化ガリウム, 酸化ガリウム成膜

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