タグ：エピウエハー
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酸化ガリウムをHVPE法で6インチウエハー上に世界で初めて成膜 大陽日酸ら
NEDO（新エネルギー・産業技術総合開発機構）は2022年3月1日、同機構の「戦略的省エネルギー技術革新プログラム」において、大陽日酸が東京農工大学、ノベルクリスタルテクノロジーと共同で、6インチウエハー上に、酸化ガリウ…詳細を見る-
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ノベルクリスタルテクノロジー、Φ2インチ酸化ガリウムエピウエハーの量産開始
ノベルクリスタルテクノロジーは2017年9月12日、タムラ製作所、東京農工大学と共同開発したΦ2インチ酸化ガリウムエピタキシャルウエハー（Ga2O3エピウエハー）の量産を開始したと発表した。同ウエハーの量産は世界初だとい…詳細を見る-
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