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タグ：エキシマ光

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  • 2020-4-2
  • 化学・素材系, 技術ニュース
  • 5G, エキシマ光, フッソ樹脂, ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）, 研究, 芝浦工業大学, 親水化, 貴金属Pd触媒, 銅微細配線, 銅微細配線形成技術

  配線やデバイス形成が困難なフッ素樹脂材料上への銅微細配線形成技術を開発――光照射で親水化に成功　芝浦工業大学

  芝浦工業大学は2020年3月31日、光照射を利用したフッ素樹脂上への簡便な銅微細配線形成技術を開発したと発表した。大がかりな装置を使わず、簡単に撥水性で他材料との接合が難しいフッ素樹脂への銅微細配線形成ができ、コストを削…

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