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レーザーで超高品質な極浅構造を作成――多層薄膜の構造化への応用に期待 京都大学
京都大学は2024年5月22日、同大学エネルギー理工学研究所の研究グループが、ターゲットとして、バルクの金属面にごく薄い金属膜を蒸着したものを使用し、レーザーで極薄金属膜のみを選択的に除去することで、超高品質な極浅構造を…
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