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タグ：マイクロ波CVD法

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  • 2023-7-14
  • 化学・素材系, 研究・技術紹介, 電気・電子系
  • 5G, EVシフト, Power Diamond Systems, カーボンニュートラル社会, シリコン（Si）半導体, ゼロエミッション半導体, ダイヤモンド半導体, パワー半導体, マイクロ波CVD法, ワイドバンドギャップ, 炭化ケイ素（SiC）

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