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タグ：レジスト用樹脂

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  • 2016-12-21
  • エンジニア分野別, ニュース, 化学・素材系, 製品ニュース
  • DIC, ナノインプリント, レジスト用樹脂

  DIC、ナノインプリント技術に最適化したレジスト用樹脂を開発

  DICは2016年12月20日、半導体製造の次世代プロセスとして期待されるナノインプリント技術（NIL）に最適化したレジスト用樹脂を開発したと発表した。 NILは、事前に基板上に塗布したUV硬化型レジストに、ナノス…

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