タグ:ナノインプリント
-
UVナノインプリントリソグラフィでの樹脂充填プロセスにおける分子の挙動をシミュレーション 東京理科大
東京理科大学は2022年8月9日、同大学先進工学部電子システム工学科の研究チームが、UV(紫外線)ナノインプリントリソグラフィにおける樹脂充填プロセスの際の分子の挙動をシミュレーションすることで、数nmのトレンチ(溝)へ…詳細を見る -
屈折率1.8、1.9の高屈折率ナノインプリント樹脂を開発――光学設計の自由度の向上へ NTTアドバンステクノロジ
NTTアドバンステクノロジ(NTT-AT)は2021年3月25日、光学接着剤の製造で培った屈折率制御技術を活用し、光学設計の自由度を向上する屈折率1.8、1.9の高屈折率ナノインプリント樹脂を開発した。 NTT-A…詳細を見る -
NICT、発光波長265nmで150mW超の光出力を持つ深紫外LEDを開発 製造コストも低減
情報通信研究機構(NICT)は2017年4月4日、150mWを超える光出力の深紫外LEDの開発に成功したと発表した。 深紫外LEDは波長200~300nmで発光するLEDで、有害な薬剤を用いないウィルス殺菌や水銀ラ…詳細を見る -
DIC、ナノインプリント技術に最適化したレジスト用樹脂を開発
DICは2016年12月20日、半導体製造の次世代プロセスとして期待されるナノインプリント技術(NIL)に最適化したレジスト用樹脂を開発したと発表した。 NILは、事前に基板上に塗布したUV硬化型レジストに、ナノス…詳細を見る -
大日本印刷、超微細構造の部品の量産化を可能にするつなぎ合わせ技術を開発
大日本印刷は2016年9月13日、ナノインプリント用のパターン形成用テンプレートを、段差なく高精度でつなぎ合わせる技術を開発したことを発表した。これにより超微細構造の大面積のテンプレート作製や部品の量産化が可能になるとい…詳細を見る -
産総研、微細間隙の毛細管力を利用した高精度厚膜印刷技術を開発
産業技術総合研究所は2016年9月12日、ナノインプリントとスクリーン印刷の技術を用いて、従来の印刷原版を使って原版パターンの1/30以下に細線化できる微細印刷技術を開発したと発表した。 開発した印刷技術は、ナノメ…詳細を見る