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タグ：倒壊挙動

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  • 2022-8-1
  • 技術ニュース, 電気・電子系
  • SCREENホールディングス, ナノ構造物, 低温科学研究所, 倒壊挙動, 北海道大学, 半導体洗浄, 研究

  半導体洗浄時におけるナノ構造物の倒壊メカニズムを観察　北大ら研究グループ

  北海道大学は2022年7月29日、同大低温科学研究所とSCREENホールディングスの共同研究で、半導体洗浄時に起こるナノ構造物の倒壊挙動の観察に成功し、そのメカニズムを解明したと発表した。半導体洗浄時のナノ構造物の倒壊は…

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