タグ：SCREENホールディングス
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半導体洗浄時におけるナノ構造物の倒壊メカニズムを観察 北大ら研究グループ
北海道大学は2022年7月29日、同大低温科学研究所とSCREENホールディングスの共同研究で、半導体洗浄時に起こるナノ構造物の倒壊挙動の観察に成功し、そのメカニズムを解明したと発表した。半導体洗浄時のナノ構造物の倒壊は…詳細を見る-
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固体高分子形燃料電池の電解質膜に電極触媒を直接塗工・乾燥できる装置「RTシリーズ」
SCREENホールディングスは2016年11月17日、家庭用燃料電池や燃料電池自動車に採用されている固体高分子形燃料電池の電解質膜に電極触媒を直接塗工・乾燥する技術の開発に成功し、同技術を搭載した燃料電池製造装置「RTシ…詳細を見る-
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