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タグ：圧電MEMSデバイス

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  • 2022-8-18
  • 化学・素材系, 製品ニュース
  • KRYSTAL, OKI, SOIウエハー, バッファー層, 圧電MEMS, 圧電MEMSデバイス, 圧電単結晶薄膜, 圧電単結晶薄膜接合ウエハー, 沖電気工業

  圧電単結晶薄膜とSOIウエハーの接合技術を確立し、「圧電単結晶薄膜接合ウエハー」を試作　OKIとKRYSTAL

  沖電気工業（OKI）は2022年8月17日、KRYSTALと共同で、圧電単結晶薄膜とSOI（Silicon on Insulator）ウエハーの接合技術を確立し、「圧電単結晶薄膜接合ウエハー」の試作に成功したと発表した。…

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