タグ：微細加工技術
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有害物質は不要、水でフォトリソグラフィーを可能に――微細加工技術を環境に優しく
米シカゴ大学は2024年8月28日、同大学の研究チームが、水を使用した持続可能な微細加工技術を開発したと発表した。センサーや医療用デバイスなどの微細加工への応用が期待される。 微細加工技術は、コンピューターチップや…詳細を見る-
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応力テンソルを制御した低コストで高精度な光学部品の形成技術を開発 MIT
宇宙望遠鏡やX線ミラー、ディスプレイパネルなどの軽量で高精度な光学系の技術は、過去数十年で大きく発展した。しかし、微細構造を持つミラーやプレートの表面は、応力を受けたコーティング材によってひずみ、光学性能を劣化させること…詳細を見る-
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新方式の超小型波長変換デバイスを用いた深紫外光変換に成功――殺菌／消毒効果が高く人体に無害な波長の光源 大阪大学
大阪大学は2021年6月4日、従来とは異なる方式の窒化物半導体超小型デバイスを用いた波長変換で、深紫外光変換に成功したと発表した。 同大学によると、近年新型コロナウイルス感染症拡大などの影響によって、深紫外光による…詳細を見る-
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量子ビームによる微細加工技術でマイクロ流路チップを一括積層――チップの分析能が数十倍に 量研とフコク物産
量子科学技術研究開発機構（量研）は2019年6月25日、フコク物産と共同で、微量検体の分析などに有効なマイクロ流路チップを同時に何枚も貼り合わせる量子ビームによる微細加工技術「一括積層技術」を開発し、マイクロ流路チップ数…詳細を見る-
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