タグ：フォトリソグラフィー
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有害物質は不要、水でフォトリソグラフィーを可能に――微細加工技術を環境に優しく
米シカゴ大学は2024年8月28日、同大学の研究チームが、水を使用した持続可能な微細加工技術を開発したと発表した。センサーや医療用デバイスなどの微細加工への応用が期待される。 微細加工技術は、コンピューターチップや…詳細を見る-
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厚さ10nmの極薄有機半導体結晶膜ウェハーを簡便な印刷法により作製――実用レベルの均一性と信頼性を達成 東京大学
東京大学大学院新領域創成科学研究科は2019年11月5日、簡便な印刷法を用いて、厚さ10nmの極薄有機半導体単結晶膜ウエハーを作製したと発表した。今回の成果により、安価に大量生産可能なIoTデバイスの開発が期待されるとい…詳細を見る-
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マランゴニ対流を利用した新たな表面加工手法を開発――インクジェット描画を光であぶりだす 名古屋大
名古屋大学は2019年2月26日、インクジェットの描画どおりの形状にマランゴニ対流を発生させることで溝を形成する、新たな表面加工手法を開発したと発表した。 半導体製造に用いられるフォトリソグラフィーなどの表面形状加…詳細を見る-
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