タグ:電子顕微鏡用軟X線発光分光器
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鉄鋼材料や半導体デバイスの性能向上に期待――東北大や島津製作所など、ホウ素の分析強度を3倍以上高めることに成功
東北大学、量子科学技術研究開発機構、島津製作所、日本電子は2018年8月8日、電子顕微鏡用軟X線発光分光器(Soft X-ray Emission Spectrometer:SXES)を改良し、ホウ素の分析強度を3倍以上…詳細を見る
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