タグ:SiC単結晶基板
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国内メーカーとして初となる200mm SiCエピウェハーのサンプル出荷を開始 昭和電工
昭和電工は2022年9月7日、国内メーカーとして初となる200mm(8インチ)サイズのSiCエピタキ シャルウェハー(SiCエピウェハー)のサンプル出荷を開始したと発表した。自社製のSiC単結晶基板(SiCウェハー)を活…詳細を見る -
SiCパワー半導体向け6インチSiC単結晶基板の量産を開始 昭和電工
昭和電工は2022年3月28日、SiC(炭化ケイ素)パワー半導体向けSiCエピタキシャルウェハー(SiCエピウェハー)の材料となる、6インチ(150mm)のSiC単結晶基板(SiCウェハー)の量産を開始したと発表した。 …詳細を見る