1550nm帯SLD光源の低出力タイプと高出力タイプを発売——ラインアップを拡充アンリツ

アンリツは2021年9月1日、センシング用光源として、産業、医療、精密計測など幅広い分野で利用できる1550nm帯スーパールミネッセントダイオード（SLD）光源を開発し、販売を開始した。通信帯である1550nm帯は低コスト化の動きが顕著となっていることから、この波長帯のSLD光源のラインアップを拡充する。

今回開発したSLD光源は、ファイバ出力が3mW typ.の低出力タイプ「AS5B310KM50M」と、ファイバ出力が25mW typ.の高出力タイプ「AS5B320EM50M」の2種類。1550nm帯のSLD光源はスペクトル幅が55nm typ.（AS5B320EM50M）と広く、干渉計測では高分解能を得られる。また、LDのような指向性を持つSLDは、光ファイバへの集光や空間的な長距離照射ができる。

SLDは、LD並みの出力とLED並みの低コヒーレンス性、広いスペクトラム幅を兼ね備えた光デバイスで、使用することでコヒーレンスノイズが低減され、高精度測定ができる。

開発品は、偏波保持ファイバから広いスペクトルを持つ低コヒーレント光を取り出せることや、温度調整用のペルチェクーラを内蔵することで幅広い温度環境下で動作する特長がある。また、モジュール内には光量モニタ用のフォトダイオード（PD）を内蔵。さらに、光学アイソレータを内蔵しているため、干渉計測時の戻り光の影響を受け難くなっている。

産業向けOCT（光干渉断層像）や薄膜の膜厚計測などの干渉計装置への組み込み、半導体製造装置の位置決めに用いられるAFユニットやエンコーダ／リニアスケールなどの精密位置決め装置への組み込み、光ファイバジャイロへの組み込みなどに活用できるという。

1550nm帯SLD光源の低出力タイプと高出力タイプを発売——ラインアップを拡充　アンリツ