UV波長域に対応したグローバルシャッター機能搭載CMOSイメージセンサーを商品化――2/3型で業界最多有効約813万画素を実現ソニー

ソニーは2021年9月29日、産業機器向けに、グローバルシャッター機能を搭載し、UV（紫外線）波長域に対応した2／3型業界最多となる有効約813万画素のCMOSイメージセンサー「IMX487」を商品化すると発表した。UV波長域に特化した構成部材や独自の受光部構造により、高いUV感度性能とノイズを抑えた高画質な撮像ができる。

IMX487は、イメージセンサー上部のガラス、画素のオンチップレンズにUV光透過率の高い材料を採用し、フォトダイオード周辺構造をUVに特化した独自構造としたことで、高いUV感度性能を有し、ノイズを大幅に抑えた高画質な撮像ができる。

また、画素がUV光を高効率に取り込むことで、高いUV感度に加え、業界最小となる2.74μm角の微細画素を採用でき、2／3型という小型なセンサーサイズながら業界最多となる有効約813万画素を実現している。

小型と高画質性能により、生産ラインでの検査用途だけでなく、屋外でのインフラ点検など、運びやすさや解像度が求められるアプリケーションの課題解決につながるという。

また、独自の裏面照射型画素構造のグローバルシャッター機能を搭載した積層型CMOSイメージセンサー技術Pregius S（プレジウスエス）により、動体歪みのない高い撮像性能を持つ。裏面照射型画素構造が持つ配線レイアウトの高い自由度により、毎秒193フレーム（10bitモード時）の高速性も有する。

UVイメージセンサーが活用されている半導体パターン欠陥検査に加え、プラスチックなどのリサイクル現場でのUV光による素材選別や透明樹脂の塗布状態検査、部品表面の微細傷の検査、劣化した電線架線で発生する放電時のUV光検知など、さまざまな用途での活用が期待される。

アクリルとポリスチレンのUV光による選別
＜左：可視光環境、右：UV光環境＞

基板上に塗布された透明な保護樹脂（実線内）は、可視光では見えず、
UV光では黒く映る。未塗布部分（点線内）はUV光でも黒く映らない
＜左：可視光環境、右：UV光環境＞

なお、UVの波長域は可視光（400nm～780nm）よりも短く、一般的に10nm～400nmとされているが、IMX487はこのUV波長域の中でも産業用の検査などに適した200nm～400nmの波長に対応している。

パッケージは、セラミックLGA 20.0×16.8mm。サンプル出荷時期は2021年9月を予定している。

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