日本NI、測定感度が10fAで電圧出力が最大200VのSMUを発表

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日本ナショナルインスツルメンツ（日本NI）は2016年7月7日、測定感度が10fAで電圧出力が最大200VのSMU（ソースメジャーユニット）「NI PXIe−4135」を発表した。

NI PXIe−4135は、PXI（PCI eXtensions for Instrumentation）に対応したモジュール方式のSMUであり、複数の計測を同時に並列で実行可能な多チャンネルシステムを実現できる。1台のPXIシャーシには最大68チャンネルのSMUが収容可能。複数のPXIシャーシを連結すれば、数百チャンネルまでの拡張が可能となる。そのため、ウェハを対象とした信頼性試験や並列テストに対応できる。

同製品は、デジタル閉ループ制御に基づいて、特定のDUT（テストの対象となるデバイス）に対してSMUの応答を最適化できる技術を搭載。ソフトウェアを介して制御可能な同技術では、SMUの整定時間の低減や、高容量性負荷に対するオーバーシュートや発振の抑制を、ソフトウェアの操作を通じて柔軟に実行できる。この技術や、高速なデータ通信バス、確定的なハードウェアシーケンスといった特長を駆使すれば、テストのスループットの向上が図れるという。

また、従来の箱型SMUと同様の使いやすさを備え、ソフトウェアベースの対話式フロントパネルも備えている。このフロントパネルを使えば、基本的な測定や自動アプリケーションのデバッグができる。さらに、NI PXIe−4135とテスト管理用ソフトウェア「NI TestStand」を併用すれば、実験室や製造現場で使用するテストシステムを容易に開発／実装（デプロイ）できる。

ドライバには、テストで使用するコードの開発に役立つヘルプファイルや、ドキュメント、そのまま実行できるサンプルプログラムが用意されている。加えて、C言語、Microsoft．NET Framework、システム開発ソフトウェアである「NI LabVIEW」を含めたさまざまな開発環境に対応するプログラミングインタフェースも提供している。

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