産総研、浮遊部を持つ微小構造を形成できる印刷技術を開発

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産業技術総合研究所(産総研)は2017年6月1日、カンチレバーやブリッジなどの浮遊部を持つ微小構造を、高効率・低コストで製造できる技術を開発したと発表した。従来比で製造にかかる時間を約80%削減し、省エネルギーかつ低コストで浮遊部を持つ微小構造を製造できるという。

これまで微小な浮遊部の形成には、基板に接した部分を取り除いて宙に浮いた部分を残すエッチング法が用いられていた。しかし製造工程数が多く、材料の無駄やエネルギーの消費量が課題となっていた。また、基板に高い平面精度が要求されるなど、基板自由度も大きく制限されていた。そのため浮遊部を持つ微小構造を、できる限りシンプルな方法で、多彩な基板に形成できる新たな技術が求められていた。
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今回開発した技術は、オフセット印刷法をベースに必要な部分だけを基板に積み重ねて浮遊部を形成する。「Lift On-Offset Printing(LOOP:ループ)法」と命名されたこの方法では、製造にかかる時間を従来比で約80%削減し、省エネルギーかつ低コストで浮遊部を持つ微小構造を形成できるという。さらに布地やゴムなどのさまざまな素材を基板として使用できるなど自由度も高い。このような微小構造は、さまざまなセンサーの検出部として用いられるため、今回の開発はセンサーの大量導入が必要なIoTの本格的な社会実装に寄与するとしている。

なお、東京ビッグサイトで開催される「JPCA Show 2017(第47回国際電子回路産業展)」で関連技術を展示予定。会期は2017年6月7日~9日だ。

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