観察／分析の自動測定機能を進化させた走査電子顕微鏡を発売日本電子

日本電子は2023年7月12日、観察、分析の自動測定機能を進化させた走査電子顕微鏡（SEM）「JSM-IT710HR」と「JSM-IT210」の販売を2023年7月23日より開始すると発表した。JSM-IT710HRは電子銃の安定性を向上し、JSM-IT210は5軸モーター試料ステージを搭載している。販売価格はJSM-IT710HRは3900万円～、JSM-IT210は1500万円～、各税込。

SEM像とEDS（エネルギー分散X線分光法）分析の取得を自動化する機能「Simple SEM」を搭載しており、SEM像の取得条件と視野を選択するだけで、自動でSEM像とEDS分析を取得する。

SEM観察しながらその場で3D像を構築する「Live3D」により、凹凸、深さの情報を得られる。また、観察試料の光学像を取得し、目的の観察視野へ光学像をクリックするだけで移動する「ステージナビゲーションシステムLS」は、従来のステージナビゲーションシステムと比べ約5倍のエリアの光学像を取得できる。

低真空下でも詳細な凹凸情報を取得する「低真空ハイブリッド二次電子検出器（LHSED）」を搭載。二次電子が残留ガス分子に衝突した際に発生する電子と励起光を検出するため、詳細な凹凸情報が低真空下でも得られる。

標準で搭載する5軸モーター試料ステージにより、凹凸試料のSEM画像取得やEDS分析に対応。JSM-IT710HRは、さらに電子ビームの安定度を向上させており、多試料を同時に搭載できる試料ホルダーを用いた長時間の連続自動運転に対応する。

JSM-IT210

観察／分析の自動測定機能を進化させた走査電子顕微鏡を発売　日本電子