半導体製造装置用CFRP部品に関するおすすめ記事 | fabcross for エンジニア

タグ：半導体製造装置用CFRP部品

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  • 2024-5-9
  • 化学・素材系, 製品ニュース
  • CFRP, フッ素樹脂コーティング, 共和製作所, 切削加工, 半導体製造装置, 半導体製造装置用CFRP部品, 導電性, 炭素繊維強化プラスチック, 粉塵

  精度、導電性、粉塵対策など複数課題を解決した、半導体製造装置用CFRP部品を発表　共和製作所

  共和製作所は2024年4月30日、導電性と粉塵対策を両立した半導体製造装置用炭素繊維強化プラスチック（CFRP）部品を発表した。半導体製造装置で使用されるCFRP部品の精度、導電性（帯電防止）、粉塵対策などの複数課題を解…

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