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超極細繊維を使用した研磨パッドを開発――半導体用シリコンウエハー製造の品質安定とコスト削減を両立 帝人フロンティア
帝人フロンティアは2019年5月16日、独自の製糸技術で製造した超極細繊維「ナノフロント」を使用することにより、半導体用シリコンウエハーの製造において、品質の安定とコスト削減の両立を実現する研磨パッドを開発し、販売を開始…詳細を見る
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