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薄膜転写技術で異種材料結晶をシリコン光回路上に集積――マイクロトランスファープリンティング技術を開発 東工大と産総研
東京工業大学は2023年8月10日、産業技術総合研究所(AIST)と共同で、薄膜転写技術を用いて異種材料結晶を微小な薄膜シールに加工し、シリコン光回路上に集積する「マイクロトランスファープリンティング」技術を発表した。こ…詳細を見る
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