マイクロ波プラズマCVD法に関するおすすめ記事 | fabcross for エンジニア

タグ：マイクロ波プラズマCVD法

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  • 2019-3-21
  • ニュース, 化学・素材系, 技術ニュース
  • NEDO, ダイヤモンド, パワー半導体, マイクロ波プラズマCVD法, 単結晶ダイヤモンド, 新エネルギー・産業技術総合開発機構, 次世代パワー半導体, 産業技術総合研究所, 産総研, 研究, 高温高圧法

  ガスからクラックのない1立方cm級単結晶ダイヤモンドを作製――パワー半導体への応用により飛躍的な省エネ社会を実現　NEDOと産総研

  新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）と産業技術総合研究所（産総研）は2019年3月20日、世界で初めて、ガスからクラックのない1立方cm級の単結晶ダイヤモンドの作製に成功したと発表した。 パワー半導体の材…

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