タグ：化学気相成長法（CVD）
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電子デバイスの熱を放散する積層グラファイトフィルムを開発
サウジアラビアのアブドラ王立科学技術大学の研究チームは、電子機器の放熱に使用できるグラファイトシートを、効率的かつ迅速に作製する技術を開発した。研究の詳細は、『Scientific Reports』誌に2020年9月7日…詳細を見る-
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高蒸気圧のCVD／ALD用プリカーサー「TRuST」を開発――優れた段差被覆性と成膜速度向上 田中貴金属工業ら
TANAKAホールディングスは2020年9月28日、同社グループ会社の田中貴金属工業と韓国の嶺南大学校工科大学が協同で、世界最高水準の蒸気圧を持つCVD／ALD用液体ルテニウムプリカーサー「TRuST（トラスト）」を開発…詳細を見る-
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