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高蒸気圧のCVD/ALD用プリカーサー「TRuST」を開発――優れた段差被覆性と成膜速度向上 田中貴金属工業ら
TANAKAホールディングスは2020年9月28日、同社グループ会社の田中貴金属工業と韓国の嶺南大学校工科大学が協同で、世界最高水準の蒸気圧を持つCVD/ALD用液体ルテニウムプリカーサー「TRuST(トラスト)」を開発…詳細を見る -
片面2層配線構造のメタルメッシュフィルムを開発――フレキシブルタッチパネルの機能向上に貢献
TANAKAホールディングスは2018年4月9日、同社の事業会社田中貴金属工業が、片面2層配線構造のタッチセンサー用メタルメッシュフィルムを開発したと発表した。スマートフォンのタッチパネルなどの用途で、高画質化、薄型化、…詳細を見る